지올, 새로운 쇼트키 전계방출형 주사전자현미경 ‘JSM-IT800’ 출시

인텔리전스 기술 플랫폼에서 전계방출형 주사전자현미경 구현

 

 

지올(JEOL Ltd., 도쿄증권거래소: 6951, 사장 겸 최고운영책임자 오이 이즈미(Izumi Oi))이 새로운 쇼트키(Schottky) 전계 방출(field emission, FE)형 ‘주사 전자 현미경(scanning electron microscope, SEM)’인 JSM-IT800을 2020년 5월에 출시한다고 발표했다.

SEM은 나노 테크놀로지, 금속, 반도체, 세라믹, 의료, 생물학 등 다양한 분야에서 사용된다. 연구·개발에서 제조 현장의 품질 관리 및 제품 검사에 이르기까지 SEM 애플리케이션이 확대되면서 SEM 사용자들은 이제 고품질 데이터를 더 빨리 수집하고 구성 정보를 더 간단하게 확인하고 싶어 한다.

JSM-IT800은 사용자들의 이런 수요를 뒷받침하기 위해 인텔리전스 기술(IT) 플랫폼상에서 고해상도 이미지를 신속하게 매핑하는 ‘인렌즈 쇼트키 플러스 전계방출 전자총(In-lens Schottky Plus FE electron gun)’과 혁신적 전자 광학 제어 시스템인 ‘네오 엔진(Neo Engine)’, 매끄러운 그래픽 유저 인터페이스(GUI)인 ‘SEM 센터(SEM Center)’를 통합했다. SEM 센터는 지올의 ‘에너지 분산형 X레이 분광기(EDS)’를 완전 통합하고 있다. JSM-IT800은 각기 다른 대물렌즈를 탑재한 2개 버전으로 구성되어 있다. 다목적 SEM용 하이브리드 렌즈(Hybrid Lens, HL)와 고화질 해상도 측정 및 다양한 분석용으로 적합한 슈퍼 하이브리드 렌즈(Super Hybrid Lens, SHL)를 각각 탑재했다.

SHL 버전에는 뛰어난 신호 대 잡음비(signal-to-noise ratio)로 이미지 화질을 높이는 ‘우퍼 하이브리드 디텍터(Upper Hybrid Detector, UHD)’도 탑재하고 있다.

새로운 ‘신틸레이터 후방 전자 디텍터(Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED)’와 ‘다용도 후방 산란 전자 디텍터(Versatile Backscattered Electron Detector)’도 JSM-IT800를 통해 이용할 수 있다.